气相沉积法制备聚酰亚胺薄膜的光、电特性研究

来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liu_shuangde

【摘要】

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以均苯四甲酸二酐(PMDA)和二氨基二苯醚(ODA)为单体原料,研究了在3×10-3Pa真空度下,通过控制双源单体的加入摩尔计量、加热时间和其沉积速率,在玻璃衬底上合成了聚酰

【作者】

：

郑建邦马戎曹猛吴洪才

【机构】

：

西安交通大学电信学院光电技术与太阳能研究所,西北工业大学应用物理系,西安交通大学电信学院光电技术与太阳能研究所

【出处】

：

半导体光电

【发表日期】

：

2001年6期

【关键词】

：

非线性光学材料聚酰亚胺气相沉积法薄膜 nonlinear optical materials polyimide vapor deposition pol

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以均苯四甲酸二酐(PMDA)和二氨基二苯醚(ODA)为单体原料,研究了在3×10-3Pa真空度下,通过控制双源单体的加入摩尔计量、加热时间和其沉积速率,在玻璃衬底上合成了聚酰亚胺的预聚体聚酰胺酸,再经150～200℃真空加热亚胺化1h后得到了成膜性良好的均匀聚酰亚胺薄膜.通过红外吸收、X射线衍射和扫描电镜等方法对样品的组织结构和特性进行了研究和探讨.结果表明,气相沉积法制备的聚酰亚胺薄膜具有良好的电学特性和热稳定性.

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