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结合溶胶凝胶法和旋涂法制备SnO2-ZnO薄膜,对制备的薄膜进行SEM表征。通过紫外光照射,提高敏感体的表面催化活性,进而提高在近室温下的灵敏度。紫外光增感效果随着ZnO和SnO2的质量比而变化,试验结果表明,ZnO和SnO2质量比为1∶9时紫外光增感效果最佳,而且对乙醇具有较好的选择性。
近室温紫外光增感SnO2-ZnO薄膜型乙醇传感器的研究
【摘 要】
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结合溶胶凝胶法和旋涂法制备SnO2-ZnO薄膜,对制备的薄膜进行SEM表征。通过紫外光照射,提高敏感体的表面催化活性,进而提高在近室温下的灵敏度。紫外光增感效果随着ZnO和SnO2
【机 构】
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吉林大学电子科学与工程学院,吉林长春130012
【出 处】
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第十三届中国湿度与水分学术交流会、第十一届中国气湿敏传感技术学术交流会、2010年国防科技工业热工流量技术交流会
【发表日期】
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2010年7期
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