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采用自主设计的带有气氛保护、冒口保温、磁力搅拌和强制冷却功能高频熔炼-铸造-搅拌一体化设备制备银基合金靶材坯料。研究了Au、Ge协同作用对银基合金靶材坯料的组织和性能的影响。结果表明,随着Au、Ge添加量的增加,银基合金靶材微观组织细化,二次枝晶变短,抗硫化性提高,且在Au、Ge添加量均为1.0%（质量分数）时,银基合金靶材坯料的耐硫化性能最佳。随着Au Ge添加量增加,元素偏析现象加剧,在Agl.5Cu0.1Y1.5Au靶材的晶界处出现少量的富集区,使靶材的抗硫化和耐蚀性有所下降。