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综述了金刚石，类金刚石碳，立方氮化硼以及碳－氮超硬涂层的一些新的研究进展，并着重对４种超硬涂层的制备研究介绍。
CVD和PVD超硬涂层的研究进展
【摘 要】
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综述了金刚石，类金刚石碳，立方氮化硼以及碳－氮超硬涂层的一些新的研究进展，并着重对４种超硬涂层的制备研究介绍。
【机 构】
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大连理工大学三束材料改性国家重点联合实验室
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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1999年3期
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