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期刊论文
一种基于MEMS技术的微变电容
一种基于MEMS技术的微变电容
来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kittyangie
【摘 要】
:
通过对接触式电容压力传感器的改进,提出了一种基于MEMS技术的微变电容模型.为确定外加驱动电压与由此所引起的电容变化之间的非线性关系,提出了一种有效的基于有限元的方法,
【作 者】
:
卞剑涛
程未
冯勇建
颜黄苹
【机 构】
:
厦门大学
【出 处】
:
微电子学
【发表日期】
:
2003年5期
【关键词】
:
MEMS
微变电容
电容压力传感器
有限元分析
工艺流程
工作原理
MEMS
Micro-variable capacitor
Capacitive pre
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通过对接触式电容压力传感器的改进,提出了一种基于MEMS技术的微变电容模型.为确定外加驱动电压与由此所引起的电容变化之间的非线性关系,提出了一种有效的基于有限元的方法,并设计了相应的加工工艺流程,说明了其工艺的可实现性.
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