【摘 要】
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超高真空计广泛应用于超高真空环境下的精确压力测量,也是目前唯一实际可用的超高真空测量仪器。本文基于Bayard-Alpert原理研制了一种超高真空计,开展了电子运动轨迹的模拟
【机 构】
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兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室,质谱仪器与大气环境研究所暨南大学
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(61601211,61671226,61627805,41904166)
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超高真空计广泛应用于超高真空环境下的精确压力测量,也是目前唯一实际可用的超高真空测量仪器。本文基于Bayard-Alpert原理研制了一种超高真空计,开展了电子运动轨迹的模拟仿真计算和实验研究,分析了发射电流对规管灵敏度值的影响。结果表明,测量范围为10^-9~10^-2 Pa量级时,灵敏度平均值为0.145 Pa^-1,波动为±15%,10^-8~10^-2 Pa范围内,灵敏度平均值为0.148 Pa^-1,波动为±6%,实验测试结果与理论计算结果具有良好一致性。超高真空计的控制系统
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