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针对在微观上存在尖锐突起、凹坑和划痕等缺陷的光学元件，提出用低质量分数磨料水射流冲击的方式对其进行处理。从弹性接触出发，对射流中粒子与元件发生塑性接触的临界速度进行了推导，并引入了塑性转入脆性加工的临界速度，从而对射流的塑性去除阶段作了明确的界定。针对常用的两种光学材料K9和石英玻璃，结合具体参数对使其处于塑性去除阶段的射流速度进行了模拟计算，利用单颗粒冲击去除模型，在塑性去除范围内对两种材料的冲击去除进行了模拟计算。结果表明：石英玻璃进入塑性去除的临界速度高于K9玻璃，而进入脆性去除的临界速度低于K9玻