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用气相法对45钢表面进行RE-Al-Zr-C-N多元渗。通过X射线光电子能谱(XPS)给出了该体系中各元素的结合能位置，分析了它们的存在状态；同时用扫描电镜-能谱进行了形貌分析、元素分析等，证实RE, Al, Zr, C, N渗入到了金属表层。在共渗中发现微量稀土元素对铝的活化催渗作用大于其对锆的作用，进一步证实了对氮的作用亦优于对碳的活化催渗作用。