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套刻精度是步进式光刻机最重要的指标之一。从应用角度探讨了Nikon系列光刻机的对准方法 ,举例说明了众多对准标记在实际掩模版上的摆放原则
Nikon光刻机对准机制和标记系统研究
【摘 要】
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套刻精度是步进式光刻机最重要的指标之一。从应用角度探讨了Nikon系列光刻机的对准方法 ,举例说明了众多对准标记在实际掩模版上的摆放原则
【机 构】
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清华大学微电子学研究所
【出 处】
：
微细加工技术
【发表日期】
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2002年03期
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