X射线光电子能谱仪应用——特殊样品测量及复杂图谱解析

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x射线光电子能谱(XPS)是材料表面元素定性和半定量分析的重要手段之一。在XPS测量实验中,使用绝缘方法来安置导电不均匀样品到导电的样品台上进行常规XPS测量,方便地得到满意的图谱数据;在数据处理中,针对扫描谱图中的峰位、峰强度、峰宽和峰形等情况,利用XPS图谱分析软件的拟合分析功能,对多价态混合的复杂样品(例如:Ce和Fe的多价态样品)的XPS图谱进行处理,采用单一价态的实验数据为模版对混合图谱进行拟合处理,比较容易地获得常规方法不易得到的不同价态的定性及半定量结果。本文对以上方法分别作举例说明。
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