直拉法单晶硅制造的具体生产过程是把原料多硅晶块放人石英坩埚中,在单晶炉中加热融化,再将一根直径只有10mm的棒状晶种(称籽晶)浸入融液中,在合适的温度下,融液中的硅原子会顺着晶种的硅原子排列结构在固液交界面上形成规则的结晶,成为单晶体硅.如果把晶种微微地旋转向上提升,融液中的硅原子会在前面形成的单晶体上继续结晶,并延续其规则的原子排列结构.若整个结晶环境稳定,就可以周而复始地形成结晶,最后形成一根圆柱形的原子排列整齐的硅单晶晶体,即硅单晶锭.当结晶加快时,晶体直径会变粗,提高晶体速率可以使直径变细,增加温度能抑制结晶速度;反之,若结晶变慢,直径变细,则通过降低拉速和降温去控制.拉晶开始,先引出一定长度、直径为3 ～ 5mm的细颈,以消除结晶位错,这个过程叫做引晶;然后放大单晶体直径至工艺要求,进入等径阶段,直至大部分硅融液都结晶成硅单晶锭,只剩下少量剩料,剩料又叫埚底料,埚底料经化学处理后可有限次重复使用.