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ATOS三维光学测量系统是逆向工程技术的关键技术之一,通过分析ATOS组成、测量原理和测量方法,对ATOS系统扫描获得点云数据进行了详细分析,可以得到其误差主要由测量设备即零部件变形摩擦以及表面油膜分布不均造成,工作时温差以及磁场变化等因素对其也有影响,对减少ATOS系统测量误差具有一定指导意义。