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激光制备类金刚石薄膜过程的影响因素
激光制备类金刚石薄膜过程的影响因素
来源 :牡丹江师范学院学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:slovedw520
【摘 要】
:
类金刚石膜是一种碳膜,主要由sp2和sp3键构成,在空间结构上是长程无序的.由于含有一定数量的sp3键,类金刚石膜具有一系列接近于金刚石的优异性能,如很高的硬度和很小的摩擦系
【作 者】
:
彭鸿雁
赵立新
【机 构】
:
牡丹江师范学院物理系,牡丹江大学电教中心
【出 处】
:
牡丹江师范学院学报:自然科学版
【发表日期】
:
2003年4期
【关键词】
:
激光
制备
类金刚石薄膜
波长
功率密度
等离子体技术
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类金刚石膜是一种碳膜,主要由sp2和sp3键构成,在空间结构上是长程无序的.由于含有一定数量的sp3键,类金刚石膜具有一系列接近于金刚石的优异性能,如很高的硬度和很小的摩擦系数、良好的化学稳定性、抗腐蚀能力、较高的电阻率、电绝缘强度、红外和微波频段的透过性、高的光学折射率.
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