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提高石英音叉钨丝探针制作成材率
提高石英音叉钨丝探针制作成材率
来源 :实验技术与管理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hwcareers
【摘 要】
:
针对探针的腐蚀及粘接制约原子力显微镜实验开展的问题,提出一种制作原子力显微镜石英音叉钨丝探针的方法。通过对原有腐蚀装置的改进,提高了钨丝针尖的成材率;钨丝探针粘接
【作 者】
:
李英姿
张应旭
张立文
王振宇
单冠乔
李华
钱建强
【机 构】
:
北京航空航天大学物理科学与核能工程学院微纳测控与低维物理教育部重点实验室
【出 处】
:
实验技术与管理
【发表日期】
:
2016年2期
【关键词】
:
原子力显微镜
石英音叉钨丝探针
工艺改良
粘接装置
AFMtungsten-QTF probeprocess improvementbonding device
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针对探针的腐蚀及粘接制约原子力显微镜实验开展的问题,提出一种制作原子力显微镜石英音叉钨丝探针的方法。通过对原有腐蚀装置的改进,提高了钨丝针尖的成材率;钨丝探针粘接装置的开发极大地避免了人为因素的干扰,提高了针尖粘接的效率。最后通过实验来验证腐蚀方法及粘接装置的可行性。
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