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ADS产品SD制程时产生的膜层黑点不良,影响产品良率。本文研究了膜层黑点不良的形成机理和影响因素,结果表明:膜层黑点不良是膜层沉积时,底部膜层水气释放导致的膜层鼓包;SD层前制程工艺Strip0(1st ITO Strip)工序导致的干燥不良,是膜层黑点产生的根本原因;SD设备水气去除能力的差异,导致了成膜机台黑点不良发生率的不同。