基于蒙特卡洛法溅射离子泵泵腔结构研究

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jexwbx45535

【摘要】

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【作者】

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崔寓淏窦仁超王凯马永强周雪茜

【出处】

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真空科学与技术学报

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

：

溅射离子泵蒙特卡洛方法分子流

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