F原子与Si表面相互作用的动力学研究

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【摘要】

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采用分子动力学方法模拟了F原子与Si表面相互作用,F原子入射能量分别为0.3,1,3,5,7和9eV.在模拟过程中,F原子的沉积率与Si表面悬键密度有关,而Si原子的刻蚀率与表面晶格结构

【作者】

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赵成利邓朝勇孙伟中吕晓丹陈峰贺平逆张浚源刘玉杰

【机构】

：

贵州大学PSI研究所MEMS课题组,贵州大学理学院,四川大学原子核科学技术研究所辐射物理及技术教育部重点实验室,荷兰皇家科学院等离子体所

【出处】

：

真空科学与技术学报

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

分子动力学沉积刻蚀 Si-F反应层

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采用分子动力学方法模拟了F原子与Si表面相互作用,F原子入射能量分别为0.3,1,3,5,7和9eV.在模拟过程中,F原子的沉积率与Si表面悬键密度有关,而Si原子的刻蚀率与表面晶格结构破坏程度有关,随着Si原子刻蚀率的增加,样品高度降低.在不同能量F原子作用下,样品Si表面形成Si-F反应层.Si-F反应层的厚度随入射能量的增加而增加,其组成成分对产物有至关重要的影响.

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