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固体调制器能产生短脉冲、快上升沿、快下降沿、大电流,并能工作在兆赫兹频率下,因此是脉冲功率技术的一个重要发展方向。介绍了由功率金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)器件组成的固体调制器的基本工作原理。采用单片机和CPLD作为硬件核心设计了脉冲信号发生器,作为固体调制器的触发信号源。通过对驱动电路的仿真,确定了由集成驱动芯片组成的驱动电路的主要参数;设计了6个MOSFET并联的开关模块。实验表明,其具有良好的静态、动态均流效果。最终设计的调制器由3个开关模块叠加而成,在800V充电电压下,可以得到最短