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对于高精和灵活测量场合，往往采用坐标测量仪器（KMG）。通过测量探头对部件进行逐点探测，从而获得所需的部件外形特征信息。标准检测会忽视误差ISO10360标准对“坐标测量仪的设定检测和确认检测”作出了定义。该标准也对坐标测量仪的检测进行了定义，以便排除探头珠体变形而造成的误差。例如针对扫描模式下的KMG进行规定。