【摘 要】
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卡尔斯鲁厄原子能研究中心自1974年以来,在它的FR2研究性反应堆内,为半导体制造厂家用中子辐照了一百五十万克(1.5吨)高纯硅,使一定数量的硅原子在窄小的范围内转变为磷原子
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卡尔斯鲁厄原子能研究中心自1974年以来,在它的FR2研究性反应堆内,为半导体制造厂家用中子辐照了一百五十万克(1.5吨)高纯硅,使一定数量的硅原子在窄小的范围内转变为磷原子。与采用扩散磷进行掺杂的方法相比,这种核方法可以使磷原子均匀地分布在硅晶体内。由中子辐照硅制备的结
The Karlsruhe Atomic Energy Research Center has irradiated 1.5 million grams (1.5 tons) of high-purity silicon for neutron production in its FR2 research reactor since 1974, enabling a certain amount of silicon Atoms within a narrow range of atoms into phosphorus atoms. Compared with the method of doping with diffusion phosphorus, this nuclear method can make the phosphorus atoms evenly distributed in the silicon crystal. Knots made from neutron irradiated silicon
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