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基于高温共烧陶瓷（HTCC）工艺，研制了一款32根引脚方形扁平无引线封装（CQFN）型微波外壳，外形尺寸仅为5mm×5mm×1．4mm。该外壳采用侧面挂孔的方式实现微波信号从基板底部到外壳内部带状线和键合区微带线的传输，底部增加了密集阵列接地过孔以消除高密度引脚间的耦合。对制作的外壳进行了微波性能测试，在C波段内的插入损耗小于0．5dB，驻波比小于1．3，隔离度大于30dB。该小型化表贴陶瓷外壳适用于c波段的微波单片集成电路（MMIC）的高品质气密封装，且便于批量化生产。