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【摘 要】
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在微机电系统技术的基础上,采用两层多晶硅表面微加工工艺,设计并加工制作了一种闪耀角可调式的微型可编程光栅。介绍了微型可编程光栅的基本工作原理及结构设计特点,针对其
【机 构】
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西北工业大学微/纳米系统实验室,
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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2008年11期
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