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采用微波加热技术和添加高分子分散剂，通过sol—gel法制备BST纳米粉体，再将纳米粉分散于BST溶胶中，通过分步甩胶工艺，制备BST陶瓷膜。XRD图谱显示，制备的BST陶瓷呈现典型的钙钛矿相结构；SEM照片显示，分步甩胶工艺制备的BST膜表面平滑，无裂纹。
BST陶瓷膜制备方法及优化
【摘 要】
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采用微波加热技术和添加高分子分散剂，通过sol—gel法制备BST纳米粉体，再将纳米粉分散于BST溶胶中，通过分步甩胶工艺，制备BST陶瓷膜。XRD图谱显示，制备的BST陶瓷呈现典型的钙钛矿
【机 构】
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西安交通大学电子科学与技术系,河北科技大学
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2006年7期
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