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本工作采用蒙特卡罗（Monte Carlo）方法,对以CH4/H2为源气体的电子助进化学气相沉积（EACVD）金刚石薄膜的气相动力学过程进行了模拟。提出了衬底温度的空间梯度变化模型,研究了衬底温度对EACVD气相过程中的电子群行为以及H2和CH4分解过程的影响。结果表明：电子平均温度随着衬底温度的升高而升高;当气压较低时,分解得到的成膜关键粒子H、CH3数量随衬底温度的增大而减少;而当气压较高时,H、CH3数目随衬底温度的增大而增大;衬底温度主要改变了衬底表面附近的化学反应动力学过程,从而对薄膜质量产生了