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对共面波导谐振腔稳频振荡器进行了实验研究，在对不加谐振腔的简单振荡器研究的基础上，设计并制了作反馈型和传输谐振腔稳频荡器，首先，稳频谐振腔分别用常规导体介质基片和在ＺｒＯ衬底上的金膜来实现，然后，用ＬａＡｌＯ２介质衬底上的ＹＢＣＯ超导薄膜制作的共面波导稳频谐振腔嵌入振荡器电路，利用其高品质因数取得较好的稳频效果。所有电路的有源器件均采用ＮＥ７２０８４ＧａＡｓＭＥＳＦＥＴ。