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【摘 要】
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为了获得高的开口率,有必要优化设计参数和工艺容差.通常的过孔刻蚀工艺采用SF6基气体进行刻蚀,但是这种方法在金属和钝化层之间的选择性太小,因此,必须增加过孔的尺寸才行.
【机 构】
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京东方科技集团股份有限公司,中央研究院,北京,100016BCRI, BOE Technology Group Co., Ltd.,Beijing 100016,China;
【出 处】
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液晶与显示
【发表日期】
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2004年期
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