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用Edelberg和Aydil的等离子体鞘层模型,对电弧离子镀中大颗粒在脉冲偏压鞘层中的带电及受力情况进行了分析和计算,为大颗粒由于带负电而受到电场力排斥从而被净化的实验现象和物理模型提供佐证.
大颗粒在等离子体鞘层中的受力分析与计算
【摘 要】
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用Edelberg和Aydil的等离子体鞘层模型,对电弧离子镀中大颗粒在脉冲偏压鞘层中的带电及受力情况进行了分析和计算,为大颗粒由于带负电而受到电场力排斥从而被净化的实验现象
【机 构】
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大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连理工大学物理系,大连理工大学三束材料改性国家重点实验室
【出 处】
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金属学报
【发表日期】
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2004年10期
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