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综述了PZT薄膜的制备方法,从电极、微观结构和化学成分、生长方向、多层膜结构以及机械应力对性能的影响五个方面介绍了PZT薄膜的研究进展.提出了PZT薄膜存在的主要问题和发展方向.
PZT薄膜的研究进展
【摘 要】
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综述了PZT薄膜的制备方法,从电极、微观结构和化学成分、生长方向、多层膜结构以及机械应力对性能的影响五个方面介绍了PZT薄膜的研究进展.提出了PZT薄膜存在的主要问题和发
【机 构】
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东北大学,东北大学
【出 处】
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材料与冶金学报
【发表日期】
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2002年2期
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