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一新自我混合基于外部阶段调整微干涉仪被介绍。自我混合的干扰由在激光前面从象 amirror 一样目标反映光发生在一根激光二极管(LD ) 。横梁的正弦曲线阶段调整被 anelectro 眼的水晶(EOC ) 在外部洞获得。干扰信号的阶段被 Fourier 分析方法使解调。到激光力量和噪音的变化的仪器的敏感由环境导致了的调整和解调减少的联合。试验性地,新微干涉仪被使用与 【 的精确性测量高精确广告 PZT 的 themicro 排水量 10 nm。