ICP-MS法测定高纯三氯氢硅中磷元素研究

来源 :中国检验检测 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lytmxl

【摘要】

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【作者】

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姜士兵

【出处】

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中国检验检测

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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ICP-MS法高纯三氯氢硅磷元素

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