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应用组合技术，通过离子束溅射法制备了Zn-Al-Ti合金薄膜材料芯片（其中WAl：WZn=55％：45％（w，质量分数）），表征了热处理后薄膜的耐腐蚀性能，研究了Ti掺杂量对薄膜耐腐蚀性能的影响．在Ar＋5％（φ，体积分数）H2混合气氛中，经200℃扩散1h，再经370℃热处理2h后可以得到高质量的合金薄膜．通过X射线衍射仪（XRD）和扫描电子显微镜（SEM）分别对热处理后的典型样品进行相结构和形貌表征．使用电化学方法测试样品的耐腐蚀性能．结果表明，Ti适量掺杂样品的腐蚀速率明显下降，其中Ti掺杂量为6．