【摘 要】
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采用起始原料无氟的工艺和含氟的Ba-TFA工艺制备YBa2Cu3O7-δ（YBCO）前驱体溶胶,在LAO（001）基板上制得YBCO凝胶膜,热处理后都可以获得表面光滑、无裂缝的YBCO薄膜。薄膜的性能利用
【机 构】
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郑州轻工业学院技术物理系,上海大学物理系
【基金项目】
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国家自然科学基金（10875107,10774097）,河南省自然科学基金（082300440080）,河南省教育厅自然科学基础研究计划项目（2008A140014）资助.
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采用起始原料无氟的工艺和含氟的Ba-TFA工艺制备YBa2Cu3O7-δ（YBCO）前驱体溶胶,在LAO（001）基板上制得YBCO凝胶膜,热处理后都可以获得表面光滑、无裂缝的YBCO薄膜。薄膜的性能利用X-射线衍射（XRD）,扫描电镜（SEM）以及光电子谱（XPS）等手段进行测试,结果表明：无氟工艺制备的薄膜由于热处理过程中生成了BaCO3相而严重地影响到薄膜的超导性能,而Ba-TFA法所获得的薄膜则表现出了良好外延生长,临界转变温度Tc=89K,转变温度宽度△Tc〈1 K,临界电流密度Jc=2.8MA
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