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多线切割中温度对悬浮液的影响
多线切割中温度对悬浮液的影响
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jie_169
【摘 要】
:
多线切割在光伏以及半导体行业中有着广泛的应用,多线切割所用的悬浮液有着非常重要的作用,性能优良的悬浮液兼有切削、粘滞、冷却三大功能,可以有效提高硅片质量,提高生产效
【作 者】
:
栾国旗
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第四十六研究所
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2012年2期
【关键词】
:
多线切割
悬浮液
黏度
Multi-wire slicing
Suspension solution
Viscosity
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多线切割在光伏以及半导体行业中有着广泛的应用,多线切割所用的悬浮液有着非常重要的作用,性能优良的悬浮液兼有切削、粘滞、冷却三大功能,可以有效提高硅片质量,提高生产效率。研究其特性主要是温度对其的影响,说明在科研生产中,悬浮液要控制在适宜的温度范围内,才能有效控制晶片质量。
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