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UV氧化单元是生产超纯水过程中的一个重要组成部分。然而，常规UV氧化能耗大，寻求高效节能的UV氧化方式已成为当今超纯净水净化研究热点之一。文中采用溶胶凝胶法，以钛酸四丁酯为钛前驱体，乙醇为溶剂，成功制备了TiO2薄膜。TiO2薄膜在加温条件下氨化制得了含氮TiO2。实验通过光催化降解超纯净水中乙二醇、异丙醇及尿素，考查了合成催化剂的性能。实验表明：在相同紫外光源条件下，掺氮TiO2的催化效果明显优于TiO2的催化效果。将掺氮TiO2与254nm UV灯结合使用能达到与仅使用185nm UV灯的同样的氧化效