【摘 要】
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1 全球真空设备市场根据日本真空协会 ( JVIA)统计 ,1 998年全球真空产业产值约为 1 0 0亿美元 ,其中 ,70 %为真空设备 ,30 %为真空零部件。在 70亿美元的真空设备产值中 ,7
【机 构】
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电子科技大学信息材料工程学院,电子科技大学信息材料工程学院 四川成都610054,四川成都610054
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1 全球真空设备市场根据日本真空协会 ( JVIA)统计 ,1 998年全球真空产业产值约为 1 0 0亿美元 ,其中 ,70 %为真空设备 ,30 %为真空零部件。在 70亿美元的真空设备产值中 ,73%为半导体生产设备 ,7%为平面显示器( Flat Panel Display;FPD)生产设备 ,1 0 %为信息储存媒体及电子?
1 Global Vacuum Equipment Market According to the statistics of the Japan Vacuum Association (JVIA), the global vacuum industry output in 1998 was about 10 billion U.S. dollars, of which 70% were vacuum equipment and 30% were vacuum parts. Of the $ 7 billion in vacuum equipment output, 73% are semiconductor manufacturing equipment, 7% are Flat Panel Display (FPD) production equipment, and 10% are information storage media and electronics.
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