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Micronic与ASML就光掩膜蚀刻技术签署合作协议
Micronic与ASML就光掩膜蚀刻技术签署合作协议
来源 :集成电路应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:luowzh
【摘 要】
:
瑞典Micronic Laser Systems AB公司日前表示,该公司与荷兰ASML Netherlands公司最近签署了一项授权协议,授予ASML以Micronic在空间光调制器和数据通道技术领域的专利产品组合
【出 处】
:
集成电路应用
【发表日期】
:
2005年2期
【关键词】
:
Micronic公司
ASML公司
光掩膜蚀刻技术
合作协议
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瑞典Micronic Laser Systems AB公司日前表示,该公司与荷兰ASML Netherlands公司最近签署了一项授权协议,授予ASML以Micronic在空间光调制器和数据通道技术领域的专利产品组合为基础,面向半导体应用推广光学掩膜蚀刻的权利。
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