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采用Modelica语言，建立光刻机超精密工件台仿真模型库，并在Mworks平台上进行联合仿真．仿真结果验证了模型的正确性，表明工件台的定位精度符合光刻机的设计要求．该仿真模型库包括直线电机模型、工件台动力学模型、PID控制器模型、逆变器模型等子模型，还可进行轨迹规划算法的比较分析，为光刻机超精密工件台的设计和改进提供了重要的分析工具和方法．