【摘 要】
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据《科学时报》2006年10月9日报道,国家“863”计划集成电路制造装备重大专项“100nm高密度等离子体刻蚀机和大角度离子注入机”于近日通过了科技部与北京市组织的项目验收。
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据《科学时报》2006年10月9日报道,国家“863”计划集成电路制造装备重大专项“100nm高密度等离子体刻蚀机和大角度离子注入机”于近日通过了科技部与北京市组织的项目验收。业主企业北京北方微电子公司和北京中科信公司与我国最大的集成电路代工厂——中芯国际公司分别签订了
According to Science Times reported on October 9, 2006, the major project of “863” Program of Integrated Circuit Manufacturing Equipment, “100nm High-Density Plasma Etching Machine and Large-Angle Ion Implanter” recently passed the approval of Ministry of Science and Technology and Beijing Municipal Organization Project acceptance. The owners Beijing Beijng Microelectronics Co., Ltd. and Beijing Zhongkexin Co., Ltd. and SMIC, the largest integrated circuit foundries in China, respectively signed
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This paper briefly intro
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