【摘 要】
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铟锡氧化物(indium tin oxide,ITO)作为氢化非晶硅薄膜晶体管液晶显示器(hydrogenatedamorphous silicon thin film transistor-liquid crystal display,a-Si∶H TFT-LCD)最
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铟锡氧化物(indium tin oxide,ITO)作为氢化非晶硅薄膜晶体管液晶显示器(hydrogenatedamorphous silicon thin film transistor-liquid crystal display,a-Si∶H TFT-LCD)最常用的透明导电材料,其图形与厚度会直接影响到器件的相关性能.本文主要阐述了TFT-LCD生产中由于ITO多晶化所造成的残留问题,并根据产线的情况对这些影响进行了分析,对实际生产过程中出现的问题提出了相应的解决方案.
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