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  5. Investigation of a Hot Filament Diamond Deposition by in situ Infrared Absorption

Investigation of a Hot Filament Diamond Deposition by in situ Infrared Absorption

来源 :High Technology Letters | 被引量 : 0次 | 上传用户：ab888
【摘 要】
：
In situ infrared absorption spectroscopy has been measured for a hot filament diamondgrowth process.Absorption of CH<sub>4</sub> and C<sub>2</sub>H<sub>2</sub>
【作 者】
：
崔景彪 
【机 构】
：
DepartmentofPhysicsUniversityofScienceandTechnologyofChina,Hefei230026,P.R.China
【出 处】
：
High Technology Letters
【发表日期】
：
1996年1期
【关键词】
：
Hot FILAMENT CVD In SITU INFRARED absorption DIAMOND quality Growth rate Chemica 
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In situ infrared absorption spectroscopy has been measured for a hot filament diamondgrowth process.Absorption of CH<sub>4</sub> and C<sub>2</sub>H<sub>2</sub> species at 3050cm<sup>-1</sup>and 730cm<sup&
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