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提出一种基于MEMS传感器和数字信号处理技术的电容式露点传感器的设计,实现对大气环境的露点温度检测。利用24位Σ-Δ模数转换器对温度进行测量,并运用PID算法对多级半导体制冷器进行精确控制。经过光学冷镜式露点传感器的对比测试,验证了其露点测量误差小于0.4℃。该传感器体积小、功耗低、响应快,能够满足大气中水汽含量瞬态变化的测量要求,有望在气象观测领域获得应用。