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采用电感耦合等离子体原子发射光谱仪的耐氢氟酸惰性进样系统，在样品用氢氟酸、硝酸、高氯酸溶解完全后无需赶尽氢氟酸和硅基体，直接进样，电感耦合等离子体原子发射光谱法同时测定了工业硅粉中铁、铝、钙、钛、锰、镍、硼和磷8种杂质元素。因为在溶样过程中大部分基体硅已挥发除去，基体效应对铁、铝、钙、钛、锰、镍的测定没有影响，但是对硼和磷的测定仍有影响，这种影响可以采用垂直观测方式克服。按照空白值的3倍标准偏差计算方法的检测限，得到铁、铝、钙、钛、锰、镍、硼和磷的检测限（w／％）分别为0．004，0．001，0．004，