【摘 要】
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在无定形SiO2非晶材料红外波段反常色散区介电常数研究中，复合高斯振子模型是介电常数重要的色散模型之一，复合振子中振子的数量和物理意义是重要的研究内容．基于化学计量学中的
【机 构】
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中国航天科工飞航技术研究院,哈尔滨工业大学光电子技术研究所
【基金项目】
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国家自然科学基金(批准号:61405145,61235011);天津市自然科学基金(批准号:15JCZDJC31900);中国博士后科学基金(批准号:2014M560104,2015T80115)资助的课题~~
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在无定形SiO2非晶材料红外波段反常色散区介电常数研究中，复合高斯振子模型是介电常数重要的色散模型之一，复合振子中振子的数量和物理意义是重要的研究内容．基于化学计量学中的因子分析技术，提出将SiO2薄膜特征振动峰的数量等效为化学组分的振子数量的方法．采用离子束溅射沉积方法制备了厚度分别为100，200，…，800nm的8种SiO2薄膜样品，以这8个样品的红外光谱透射率作为光谱矩阵元素．通过因子分析技术确定了400—4000cm-1波数范围内高斯振子数量为9个，使SiO2薄膜的介电常数反演计算结果具有明确的
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