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采用悬浮聚合法以正硅酸乙酯（TEOS）和甲基三甲氧基硅烷（MTMS）为主要原材料,制备球形度良好的单分散聚硅氧烷微球。并同时研究了反应体系中反应条件对微球粒径大小及其分布的影响。通过扫描电镜（SEM）、动态光散射（DLS）和红外光谱（FT-IR）等分析手段分别对微球的形貌、分布和结构等进行了表征。确定最优的反应条件为：同时满足温度为40℃且氨水浓度为0.01%时,微球呈球形度良好的单分散状态。