论文部分内容阅读
多晶硅还原炉作为多晶硅生产装置的主要反应设备,其内硅芯在高压12KVA击穿下各类化学物质进行着复杂的CVD化学反应。设备的尾气管或其他接管焊缝出现缺陷,将造成夹套冷却水进入反应空间造成反应中断或其他严重事故,严重影响多晶硅的生产安全,因此此问题的及早发现和正确处理,对有效减小生产运行风险和还原炉的安全运行具有重要的意义。