【摘 要】
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介绍了准分子激光微加工的机理、特点和应用。激光微加工具有非接触、有选择性加工、热影响区域小、高精度与高重复率等优点。既可以通过材料去除方式，也可以通过材料加成方式
【机 构】
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西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室
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介绍了准分子激光微加工的机理、特点和应用。激光微加工具有非接触、有选择性加工、热影响区域小、高精度与高重复率等优点。既可以通过材料去除方式，也可以通过材料加成方式进行微加工成形。探讨了准分子激光的熔覆特性，实验表明：准分子激光瞬时产生很高的功率密度，具有很高的温度梯度。在基体表面发生剧烈的光热交互作用；同时产生巨大的光压和等离子体．形成大量等离子体小颗粒，沉积在熔池周围。另外，由于准分子激光的脉冲作用，熔池中有明显的液相冲击波纹会影响激光熔覆层的表面质量，可以通过优化激光工艺参数改善熔覆层的表面质量。
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