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波导层结构设计是制备太赫兹（THz）量子级联激光器的关键问题之一．本文基于德鲁得（Drude）模型，利用时域有限差分（FDTD）法，对Si／SiGe量子级联激光器的波导层进行优化设计，从理论上对传统的递变折射率波导、单面金属波导、双面金属波导以及金属／金属硅化物波导横磁模（TM模）的模式损耗和光场限制因子进行了对比分析．结果表明，金属／金属硅化物波导不但可以减小波导损耗，而且有很高的光学限制因子，同时其工艺也比双面金属波导容易实现，为Si／SiGe太赫兹量子级联激光器波导层的设计提供了一定的理论指导．