氧气氛退火对磁控溅射Ta2O5薄膜结构、表面形貌及电学性能的影响

来源 :北方工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lm20090910

【摘要】

：

本文采用磁控溅射在Si基体上制备Ta2O5薄膜，研究了退火前、500℃氧气氛退火半小时之后、800℃氧气氛退火半小时之后的Ta2O5薄膜的结构、表面形貌及电学性能．退火前和500℃退火

【作者】

：

马志伟米仪琳张铭王波严辉

【机构】

：

北京工业大学薄膜材料实验室,北方工业大学理学院

【出处】

：

北方工业大学学报

【发表日期】

：

2007年3期

【关键词】

：

磁控溅射 TA2O5 结构表面形貌电学性能退火 magnetron sputtering Ta2O5 structure surface morpho

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

本文采用磁控溅射在Si基体上制备Ta2O5薄膜，研究了退火前、500℃氧气氛退火半小时之后、800℃氧气氛退火半小时之后的Ta2O5薄膜的结构、表面形貌及电学性能．退火前和500℃退火的薄膜均为非品薄膜，但500℃退火之后能使非品薄膜结构更加致密，表面更加平整，并且给薄膜进行了补氧，提高了薄膜的绝缘性能．800℃退火之后的薄膜出现了结晶颗粒，晶界引起了大的漏电流，使薄膜的绝缘性能下降．

其他文献

孚来迪治疗2型糖尿病45例临床观察

近些年来,糖尿病患病率逐年升高,严重危害人类的健康,孚来迪(瑞格列奈,连云港豪森制药有限公司生产)是一种新型的胰岛素促泌剂,不属于磺脲类,特点是起效快、半衰期短.我们近

期刊

孚来迪治疗2型糖尿病临床观察

阻塞性睡眠呼吸暂停综合征所致呼吸衰竭4例诊治体会

期刊

睡眠呼吸暂停综合征睡眠性呼吸衰竭诊断治疗

VLAP方案治疗原发笥血小板减少性紫癜（附14例随访观察）

期刊

原发性血小板减少性紫癜VLAP方案治疗

普通高校体育课程实施“三自主教学”与发展艺术素质的研究