高中历史故事性教学方式创新分析

来源 :中小企业管理与科技 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wenzhiqiang963
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学位
本文对离子源的溅射特性进行了研究,采用离子束溅射法制备了TiN_y单层薄膜和CN_x/TiN_y多层薄膜,探索该法制备CN_x薄膜的最佳工艺参数,并利用TiN_y薄膜为衬底以促进CN_x薄膜的生长。 溅射特性研究结果表明:屏极电压和溅射气压对离子束均匀性和束流密度影响显著;加速电压对两者影响较小;石墨靶的最佳入射角为50°。 研究了实验参数对TiN_y薄膜结晶取向的影响。结果表明:在能