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用溶胶-凝胶工艺在碱性催化条件下，采用旋转镀膜法在K9玻璃上分别制备了性能稳定的单层SiO2薄膜与单层ZrO2薄膜。用反射式椭圆偏振光谱仪测试了薄膜的椭偏参数，并用Cauchy模型对椭偏参数进行数据拟合，获得了溶胶-凝胶SiO2与ZrO2薄膜在300-800nm波段的色散关系。用紫外-可见分光光度计测量了薄膜的透射率，并与用椭偏仪换算出来的结果相比较；用原子力显微镜观察了薄膜的表面微结构。并讨论表面微结构与薄膜光学常数之间的关系。分析结果表明，Cauchy模型能较好的描述溶胶-凝胶薄膜的光学性能，较详细的